本報(bào)訊 4月15日，浙江省寧波市計(jì)量院掃描電子顯微鏡（SEM）校準(zhǔn)裝置順利通過(guò)浙江省市場(chǎng)監(jiān)管局考核，并正式取得社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)證書(shū)。該社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的建立有效填補(bǔ)了浙江省在掃描電子顯微鏡量值傳遞與溯源能力上的空白，將率先為企業(yè)、高校及科研院所在高精密儀器計(jì)量校準(zhǔn)領(lǐng)域提供精準(zhǔn)技術(shù)保障。
　　掃描電子顯微鏡作為納米級(jí)微觀形貌分析儀器，是一種利用聚焦電子束掃描樣品表面，通過(guò)檢測(cè)二次電子、背散射電子等信號(hào)生成高分辨率圖像的精密分析儀器，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)（金屬斷裂面分析、涂層結(jié)構(gòu)觀測(cè)）、生命科學(xué)（細(xì)胞/組織超微結(jié)構(gòu)研究）、納米技術(shù)（納米顆粒形貌表征）、工業(yè)檢測(cè)（芯片缺陷檢測(cè)、產(chǎn)品質(zhì)量控制）及地質(zhì)考古（礦物成分分析、文物微觀結(jié)構(gòu)解析）等領(lǐng)域，是現(xiàn)代科研與工業(yè)檢測(cè)不可或缺的跨學(xué)科分析工具，其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性直接影響到科研成果的可靠性和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。
　　寧波市作為全國(guó)重要的制造業(yè)基地，在新材料、電子信息、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域擁有眾多企業(yè)，在掃描電子顯微鏡的計(jì)量校準(zhǔn)方面具有較大的需求。寧波市計(jì)量院立足院項(xiàng)目能力，集中優(yōu)勢(shì)資源，攻克關(guān)鍵技術(shù)難題，依據(jù)JJF 1033-2023《計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)考核規(guī)范》和JJF 1916-2021《掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》的要求，成功建立掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)裝置。該裝置可對(duì)掃描電子顯微鏡的測(cè)長(zhǎng)示值誤差、正交畸變、線性失真度等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)，確保其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確可靠。

□王順杰 勞云云